远心镜头通过物方远心光路架构实现高精度测量,其核心特征在于平行光入射设计:
• 物方远心:仅允许与光轴平行的光线进入镜头,消除物距变化导致的放大倍率误差(传统镜头误差>2%,远心镜头<0.1%)
• 双远心设计:同时校正物方和像方视差,适合厚度不均物体检测(如半导体晶圆、玻璃基板)
• 超低畸变控制:通过非球面镜片与复消色差设计,畸变率可控制在<0.05%(行业平均水平0.1-0.5%)
参数 | 定义与影响 | 易显产品典型值 | 行业对比 |
远心度 | 光束平行度指标,影响测量一致性 | <0.05°(YT4X65A23E1) | 蔡司同类产品0.05° |
分辨率 | 最小可分辨细节(μm) | 3μm(TC6X65A12) | 基恩士5μm |
工作距离 | 镜头到物体的距离范围 | 65mm±0.5mm(YT3X65A1.1E1) | 舜宇50-150mm |
景深 | 清晰成像的轴向范围 | 0.04mm(高倍率型号) | 普通远心镜头0.02mm |
专为半导体晶圆检测与微电子产品测量设计,核心型号参数如下:
型号 | 倍率 | 靶面 | 工作距离(mm) | 分辨率(μm) | 畸变(%) | 典型应用场景 |
YT4X65A23E1 | 4X | 2/3" | 64.5-65.5 | 17 | <0.1 | 芯片引脚共面性测量 |
YTC3X65A1.1E1 | 3X | 1.1" | 63-67 | 11 | <0.03 | 晶圆划痕缺陷检测 |
YT1.75X110A2306 | 1.75X | 2/3" | 107-113 | 36 | <0.1 | PCB板焊点三维形貌测量 |
技术突破:集成电压驱动液态透镜,实现10ms级动态对焦,无机械磨损设计使寿命提升至5000万次循环(传统机械调焦镜头仅10万次)
覆盖1/2.5"至1.1"靶面,适合光伏硅片检测、锂电池极片测量等大尺寸物体场景:
型号 | 倍率 | 物方视场(mm) | 工作距离(mm) | 分辨率(μm) | 景深(mm) |
BTL0.030X410B125 | 0.03 | 237 | 410±5 | 90 | 72 |
BTL0.277X72B125 | 0.277 | 29 | 72±2 | 10 | 6 |
BTL0.199X111B125 | 0.199 | 35 | 111±2 | 14 | 4 |
性能优势:采用多组超低色散玻璃镜片,在全视场范围内保持95%以上透光率,配合自研抗反射镀膜,有效抑制半导体检测中的眩光干扰
• 检测需求:300mm晶圆表面0.5μm级划痕、崩边、颗粒污染识别
• 推荐型号:YTC3X65A1.1E1
◦ 核心参数:3X倍率、1.1"靶面、分辨率11μm、远心度<0.05°
◦ 实测数据:在某12英寸晶圆厂AOI设备中,缺陷检出率99.7%,误判率<0.3%,检测速度达120片/小时
• 检测需求:QFP封装引脚共面性(≤5μm)、引脚间距(±1μm)测量
• 推荐配置:YT4X65A23E1 + 2400万像素工业相机
◦ 光学方案:4X倍率配合0.08mm景深,单次拍摄覆盖8mm×8mm区域
◦ 算法支持:提供SDK开发包,支持亚像素边缘提取(精度0.1像素)
1. 确定靶面大小:根据相机传感器尺寸选择(如1.1"靶面优先YTC系列)
2. 计算倍率需求:倍率=传感器对角线/物方视场(例:1.1"靶面检测10mm视场需3X倍率)
3. 工作距离匹配:半导体检测推荐65-110mm(避免干涉晶圆传输机构)
4. 环境适应性:工业级型号(如BTL系列)支持-20~+60℃工作温度,IP67防护
• 定制化能力:支持光学参数定制(如特殊工作距离、镀膜波长),周期<4周
• 成本优势:国产化率100%,价格较进口品牌低30-50%,交期缩短至2周
• 全生命周期服务:提供2年质保及校准服务,配备专属应用工程师团队